TANAKA Green Shield
回收
回收、提纯
、气相沉积、溅射、
贵金属薄膜与沉积技术
什么是“ TANAKA Green Shield”？
这是田中贵金属工业开发的一项新技术，能够高效地从溅射和蒸发系统等真空沉积设备的挡板回收铂族贵金属（PGM）。该技术通过抑制抛光损失、减少清洗剂用量和延长部件寿命，也极大地降低了成本和环境影响。
利用镀镍加工回收真空成膜装置构件贵金属的方法
这是我们公司开发的一种新型贵金属回收。在半导体制造工艺中使用的真空沉积设备的挡板电镀镍，使铂、钯等贵金属溅镀膜更容易去除。
关于“ TANAKA Green Shield”
这种清洗方法利用了回收业务中基材电镀的专有技术诀窍，可去除溅镀膜上附着的真空镀膜设备部件（主要是 SUS（不锈钢）），如溅射和真空蒸镀设备，并将贵金属回收提纯和回收贵金属和精密洗净部件返还给客户。
特点
- 去除PGM溅镀膜不会损坏基板。
通过预先在挡板镀电镀，在使用挡板后，只有挡板和 PGM溅镀膜之间电镀镍的涂层会被溶解。 - 高铂族金属回收
预计这将减少抛光过程中因散落回收损失。 - 降低环境负荷
清洗设备时使用的清洗剂的使用量有望减少
TANAKA Green Shield夹具清洗工艺
与传统基础加工的比较
| 无铝喷涂 | 喷铝 | TANAKA Green Shield | |
|---|---|---|---|
| 除膜方法 | 通过喷洒磨料（喷砂处理）刮除附着薄膜。 | 预先处理过的铝被溶解在挡板，粘膜被去除。 | 预先处理过的挡板的镍被溶解，粘连膜被去除。 |
| 打底 | 无 | 铝喷涂 | 电镀镍 |
| 可清洗膜种 | 〇 | ◎ | ◎ |
| 清洗成本 | × | 〇 | ◎ |
| 贵金属回收 | × | 〇 | ◎ |
| 缺点 |
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田中贵金属提供的贵金属回收业务促进了有限贵金属资源的回收，并为实现循环经济做出了贡献。
