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액체 루테늄 전구체로 세계 최고 수준의 증기압치를 실현
CVD・ALD용 전구체 ‘TRuST’를 개발
2020 년 10 월 5 일
TANAKA 홀딩스 주식회사(본사: 도쿄도 치요다구, 대표이사 사장 집행 임원: 다나카 고이치로)는 다나까 귀금속 그룹의 제조 사업을 전개하는 다나까귀금속공업주식회사(본사: 대표이사 사장 집행 임원: 다나카 고이치로)가 지금까지의 액체 루테늄(원소 기호 Ru) 전구체 에 비해 증기압을 약 100 배 이상 까지 높인 CVD ・ALD 용 전구체 ‘TRuST(트러스트)’를 개발하였음을 발표합니다.이 실험 값은 당사 내부 평가에서 상온에서 세계 최고의 증기압치입니다.
본 개발은 전구체의 설계 및 합성을 다나까귀금속공업이, 그 증착 특성의 최적화를 위한 연구를 한국의 영남대학교 공과대학 신소재공학부의 김수현 교수가 담당하였습니다.
본 기술에 의해 스마트폰 및 PC 용이나 향후 더욱 수요가 예상되는 데이터 센터에서 사용되는
반도체의 고성능화・전력 절약화에 공헌합니다.