고순도 증착, 접합, 봉합 재료
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”고순도 증착, 접합, 봉합 재료”란?
고순도 증착, 접합, 봉합 재료는 전자 부품이나 광디바이스의 제조 공정에 사용되는 고성능 소재입니다. 금속막의 형성(증착), 정밀한 부품 접합, 기밀 밀봉 등에 이용되어 고신뢰성과 장수명화에 공헌합니다. 진공 장치 및 광통신 분야에서 중요한 역할을 합니다.
고품질의 제품을 폭넓게 갖추고 있습니다.
반도체 부품에 사용되는 증착용 재료를 비롯해 정밀 부품의 접합・기밀 밀봉에 이용되는 다품종의 제품을 갖추고 있습니다.
또한 기존품(종래품) 보다 Au 품위가 높은 고품질 Au 증착재- SJeva도 라인업. 미세배선이나 의료기기 용도에 있어서 생산성 향상과 비용 절감에 공헌하겠습니다.
고순도 증착, 접합, 봉합 재료 개요
특징
- 금계 합금은 와이어, 리본, 펠릿, 블록 및 구형으로 제조 가능
- 가스 감기, 첨가 원소의 산화가 억제된 제품
| 종류 | 모양 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 와이어 | 리본 | 펠렛 | 블록 | 구 | |
| Au(순도 99.99%, 99.999%) | ○ | ○ | ○ | ○ | ─ |
| AuSb1.0 | ○ | ─ | ○ | ○ | ─ |
| AuZn5.0 | ○ | ─ | ○ | ○ | ─ |
| AuSi3.15 | ○ | ─ | ○ | ○ | ─ |
| AuBe1.0 | ─ | ─ | ○ | ─ | ─ |
| AuGe12.5 | ○ | ─ | ○ | ○ | ○ |
| AuSn20 | ○ | ○ | ○ | ─ | ○ |
- 게재 제품 이외의 조성도 대응 가능합니다.
- Au 주석 증착재 AuSn 18%~30%의 넓은 조성 범위에서 제조가 가능합니다.
목적
다이 본딩, 웨이퍼 증착용, 접합, 기밀 밀봉 등
금계 합금 시리즈
고품질 Au 증착재: SJeva
반도체 및 의료 기기 용도에서 생산성 향상 및 비용 절감에 기여
기존 제품과 비교하여 제품 중에 개재하는 비금속 개재물이 매우 적기 때문에 사용 귀금속의 저감, 공정 삭감에 의한 생산성 향상과 비용 절감, 회수 리사이클 성을 높일 수 있습니다.
특징
- 증착재 중에 존재하는 산화물, 황화물 등의 비금속 물질을 기존품(종래품)에 비해 저감
- 증착재 재 용해시에 표층에 응집하는 오염 성분이 감소하기 때문에, 클리닝 공정이 불필요하게
- 성막 전의 예열 시간을 단축할 수 있어, 성막에 기여하지 않는 증착재 소비를 저감
- 성막시에 증착원으로부터 발생하는 스플래쉬 현상을 억제하고, 고 레이트 증착시에 있어서의 기판 상의 파티클 부착수를 저감
반도체 분야의 미세 배선, MEMS, 광학 디바이스(광디바이스), LED, 의료 기기에서 최종 사용자의 생산성 향상, 비용 절감에 기여
SEM 사진
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