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田中貴金屬工業發表新產品半導體檢測設備用鈀合金材料「TK-SK」

作為鈀合金材料,其硬度達到了640HV
在半導體檢測設備的應用上,減輕了因探針磨損造成的變形問題並貢獻於檢測設備的長壽命化與低成本化

2024年10月17日

田中貴金屬集團核心企業——以產業用貴金屬展開事業的田中貴金屬工業株式會社宣布成功開發出應用於半導體封裝的後段中,進行最終測試的探針用鈀(Pd)合金材料「TK-SK」。本產品將於2024年10月24日至25日,在福岡縣舉辦的「SWTest Asia 2024」上進行展覽板展示,並預計於年底前開始提供樣品。

田中貴金屬工業製造並提供各種貴金屬探針用材料,將其運用在半導體前段製程和後段製程中實施檢測的設備。本次將要宣布的「TK-SK」,作為探針用的鈀合金材料,具備最大硬度640HV,因此主要設定其用途為測試插座,應用於後製程中通電試驗的最終測試。

近年來,雖然高硬度探針的需求不斷增加,但硬度越高,材料的加工就會愈加困難,像是進行切削加工時會發生破損這類的課題,且目前在市場上流通的鈀合金類材料的硬度,最大只到560HV左右。此次,田中貴金屬工業利用獨特的加工技術,已成功將本產品的硬度開發到640HV。針對本產品,本公司目標於2028年前達到既有產品出貨量的1.5倍。

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