熔融法製造的濺鍍靶材和真空蒸鍍材

熔融法製造的濺鍍靶材和真空蒸鍍材

靶材與蒸鍍材皆為高純度產品。

活躍於半導體等各種產業的貴金屬薄膜。
依用途可提供對應多種形狀、尺寸高純度的濺鍍靶材、蒸鍍材。
亦受理您在評估各種材料時所需的濺鍍成膜測試。

來自熔融法的靶材、蒸鍍材

特色

  • 無針孔、氧化物、氣體等缺陷的靶材
  • 藉由超音波探傷檢查背板間接合狀態以確保品質
  • 貴金屬高純度蒸鍍材可加工成顆粒狀、塊狀、棒狀、線狀等形狀
  • 自設備、治具洗淨中回收的貴金屬可補充為產品之原材料
  • 從細微到粗大的結晶尺寸皆可因應需求調整

種類

材質 標準品
(wt%)
高純度品
(wt%)
合金
金類 99.99 99.999 AuSi、AuZn、AuSb、AuSn等
K金(K9~K18)
白金類 99.99
銥(Ir)類※1 99.9 99.99
銠(Rh)類※1 99.9 各種
鈀(Pd)類 99.95
銀類※2 99.99 各種

※1. 銥、銠的高熔點材料也是利用熔融法,由無氧化物、氣體、空洞等缺陷的鑄塊製造。
※2. 製造改善純銀耐環境性(耐硫化、耐濕度)的銀合金。


平面靶材、蒸鍍材料

平面靶材、蒸鍍材料

反射膜、電極用銀合金靶材

特色

DVD及BD是由印刷層、保護層、反射.儲存層、樹脂層的疊層構造所構成。反射與儲存層中由於討厭日光直接照射或高溫、多濕的產品性質,而採用了貴金屬(反射膜)。經蒸鍍的反射膜攸關產品壽命,精度不良會導致印刷、反射層從邊緣剝落,另外,水分滲透反射膜會導致生鏽,進而使產品出現喪失反射功能等狀況,縮短產品壽命。因此,本公司提供耐環境性良好的貴金屬(純銀、銀合金等)靶材作為反射.穿透膜用產品。

純銀與本公司研發之銀合金比較

濺鍍後之反射率

[濺鍍後之反射率比較圖表] 純銀與本公司研發之銀合金比較

金合金靶材的製作及成膜評估

可透過金合金靶材的製造及成膜實施試製。成膜樣品等可透過定量的比較,評估最適合的材料。

金類靶材成膜樣品
(於本公司內部實施)
金類靶材成膜樣品

濺鍍膜的La*b*座標系

濺鍍膜的La*b*座標系