熔融法製造的濺鍍靶材和真空蒸鍍材
靶材與蒸鍍材皆為高純度產品。
活躍於半導體等各種產業的貴金屬薄膜。
依用途可提供對應多種形狀、尺寸高純度的濺鍍靶材、蒸鍍材。
亦受理您在評估各種材料時所需的濺鍍成膜測試。
來自熔融法的靶材、蒸鍍材
■特色
- 無針孔、氧化物、氣體等缺陷的靶材
- 藉由超音波探傷檢查背板間接合狀態以確保品質
- 貴金屬高純度蒸鍍材可加工成顆粒狀、塊狀、棒狀、線狀等形狀
- 自設備、治具洗淨中回收的貴金屬可補充為產品之原材料
- 從細微到粗大的結晶尺寸皆可因應需求調整
■種類
材質 | 標準品 (wt%) |
高純度品 (wt%) |
合金 |
---|---|---|---|
金類 | 99.99 | 99.999 | AuSi、AuZn、AuSb、AuSn等 K金(K9~K18) |
白金類 | 99.99 | – | – |
銥(Ir)類※1 | 99.9 | 99.99 | – |
銠(Rh)類※1 | 99.9 | – | 各種 |
鈀(Pd)類 | 99.95 | – | – |
銀類※2 | 99.99 | – | 各種 |
※1. 銥、銠的高熔點材料也是利用熔融法,由無氧化物、氣體、空洞等缺陷的鑄塊製造。
※2. 製造改善純銀耐環境性(耐硫化、耐濕度)的銀合金。
反射膜、電極用銀合金靶材
■特色
DVD及BD是由印刷層、保護層、反射.儲存層、樹脂層的疊層構造所構成。反射與儲存層中由於討厭日光直接照射或高溫、多濕的產品性質,而採用了貴金屬(反射膜)。經蒸鍍的反射膜攸關產品壽命,精度不良會導致印刷、反射層從邊緣剝落,另外,水分滲透反射膜會導致生鏽,進而使產品出現喪失反射功能等狀況,縮短產品壽命。因此,本公司提供耐環境性良好的貴金屬(純銀、銀合金等)靶材作為反射.穿透膜用產品。
■純銀與本公司研發之銀合金比較
金合金靶材的製作及成膜評估
可透過金合金靶材的製造及成膜實施試製。成膜樣品等可透過定量的比較,評估最適合的材料。
金類靶材成膜樣品
(於本公司內部實施)