熔融法製造的濺鍍靶材和真空蒸鍍材
靶材與蒸鍍材皆為高純度產品。
活躍於半導體等各種產業的貴金屬薄膜。
依用途可提供對應多種形狀、尺寸高純度的濺鍍靶材、蒸鍍材。
亦受理您在評估各種材料時所需的濺鍍成膜測試。
來自熔融法的靶材、蒸鍍材
■特色
- 無針孔、氧化物、氣體等缺陷的靶材
- 藉由超音波探傷檢查背板間接合狀態以確保品質
- 貴金屬高純度蒸鍍材可加工成顆粒狀、塊狀、棒狀、線狀等形狀
- 自設備、治具洗淨中回收的貴金屬可補充為產品之原材料
- 從細微到粗大的結晶尺寸皆可因應需求調整
■種類
| 材質 | 標準品 （wt%） |
高純度品 （wt%） |
合金 |
|---|---|---|---|
| 金類 | 99.99 | 99.999 | AuSi､AuZn､AuSb、AuSn等 K金（K9～K18） |
| 白金類 | 99.99 | – | – |
| 銥（Ir）類※1 | 99.9 | 99.99 | – |
| 銠（Rh）類※1 | 99.9 | – | 各種 |
| 鈀（Pd）類 | 99.95 | – | – |
| 銀類※2 | 99.99 | – | 各種 |
※1. 銥、銠的高熔點材料也是利用熔融法，由無氧化物、氣體、空洞等缺陷的鑄塊製造。
※2. 製造改善純銀耐環境性（耐硫化、耐濕度）的銀合金。
平面靶材、蒸鍍材料
反射膜、電極用銀合金靶材
■特色
DVD及BD是由印刷層、保護層、反射．儲存層、樹脂層的疊層構造所構成。反射與儲存層中由於討厭日光直接照射或高溫、多濕的產品性質，而採用了貴金屬（反射膜）。經蒸鍍的反射膜攸關產品壽命，精度不良會導致印刷、反射層從邊緣剝落，另外，水分滲透反射膜會導致生鏽，進而使產品出現喪失反射功能等狀況，縮短產品壽命。因此，本公司提供耐環境性良好的貴金屬（純銀、銀合金等）靶材作為反射．穿透膜用產品。
■純銀與本公司研發之銀合金比較
濺鍍後之反射率
![[濺鍍後之反射率比較圖表] 純銀與本公司研發之銀合金比較](https://prod-cms-cache-bucket.s3-ap-northeast-1.amazonaws.com/wp-content/uploads/sites/images/ex/tw/products/images/a01/img_block02_01.jpg)
金合金靶材的製作及成膜評估
可透過金合金靶材的製造及成膜實施試製。成膜樣品等可透過定量的比較，評估最適合的材料。
金類靶材成膜樣品
（於本公司內部實施）
濺鍍膜的La*b*座標系
