6.Oktober 2020

Die TANAKA Kikinzoku Kogyo K.K., ein japanisches Unternehmen, das das Edelmetallgeschäft der TANAKA Holding betreibt, bringt im Oktober 2020 einen neuen Ruthenium-Präkursor auf den Markt, Dank seiner neuartigen Molekularstruktur sorgt der sogenannte TRuST-Präkursor bei der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD), Atomlagenabscheidung (ALD) und bei anderen Prozessen zur Bildung dünner Metallfilme oder Metallverdrahtungen für eine bessere Stufenabdeckung und eine verbesserte Filmbildungsgeschwindigkeit. Laut TANAKA wird die Innovation damit die Herstellung von leistungsstärkeren, energieeffizienteren und miniaturisierteren Halbleitern ermöglichen.

20201006_TANAKA Precious Metals entwickelt neuartigen Ruthenium-Präkursor – “TRuST”