CVD / ALD 용 귀금속 전구체 (precursor)

CVD / ALD 용 귀금속 전구체

CVD = Chemical Vapor Deposition
ALD = Atomic Layer Deposition

차세대 반도체를 향한 고순도 귀금속 전구체의 개발.

프리커서 개발・제공

TANAKA 귀금속공업에서는 다양한 CVD/ALD 프리커서를 개발 하고 있습니다. 또한, 반도체용의 박막을 제작하기 위한 CVD 장 치, 박막을 평가하기 위한 각종 분석기기(FE-SEM, AFM, GD-MS 등)를 갖추어 목적에 맞는 프리커서를 제공합니다.

루테늄을 중심으로 귀금속 전구체(precursor) 개발을 하고 있습니다.