開發、提供前驅物

本公司開發各種CVD／ALD前驅物。而且，製作半導體用薄膜的CVD裝置、評估薄膜用的各種分析儀器（FE-SEM、AFM、XRF等）產品俱全，依目的提供所需前驅物。

■前驅物產品範例（釕）

開發以釕為主的貴金屬前驅物。

產品名稱	結構
Carish 液體釕前驅物
Rudic 液體釕前驅物
DCR 固體釕前驅物