溶解法的濺鍍靶材和真空蒸鍍材料

溶解法的濺鍍靶材和真空蒸鍍材料

靶材與蒸鍍材料皆為高純度產品。

活躍於半導體等各種產業領域的貴金屬薄膜。
依用途提供可對應多種形狀、尺寸的高純度濺鍍靶材、蒸鍍材料。
亦受理您在評估各種材料時所需的濺鍍成膜測試。

來自溶解法的靶材、蒸鍍材料

特色

  • 沒有針孔、氧化物、氣體等缺陷的靶材產品
  • 藉由超音波瑕疵偵測機檢查背板之間接合加工的接合狀態以確保品質
  • 貴金屬高純度蒸鍍材料可加工成顆粒狀、塊狀、棒狀、線狀等形狀
  • 裝置、治具中精密洗淨及回收利用的貴金屬可再加工並補充回靶材
  • 從細微的結晶尺寸到粗大的結晶尺寸皆可因應需求調整

種類

材質 標準品
(wt%)
高純度品
(wt%)
合金
金類 99.99 99.999 AuSi、AuZn、AuSb、AuSn其他
K金(K9~K18)
白金類 99.99
銥(Ir)類※1 99.9 99.99
銠(Rh)類※1 99.9 各種
鈀(Pd)類 99.9
銀類※2 99.99 各種

※1. 銥、銠的高熔點材料也是利用溶解法,由無氧化物、氣體、空洞等缺陷的鑄塊來製造。
※2. 製造已改善純銀耐環境性(耐硫化、耐濕度)的銀合金。


平面靶材、蒸鍍材

反射膜、電極用銀合金靶材

特色

DVD及BD是由印刷層、保護層、反射.儲存層、樹脂層的疊層構造所構成。反射與儲存層中使用了蒸鍍材料,而針對害怕日光直接照射或高溫、多濕的產品性質,則採用了貴金屬(反射膜)。經蒸鍍的反射膜攸關產品壽命,精度不良會導致印刷、反射層從邊緣剝落,另外,水分滲透反射膜會導致生鏽,進而使產品出現喪失反射功能等狀況,縮短產品壽命。因此,本公司提供具有優良耐環境性的貴金屬(純銀、銀合金等)靶材來作為反射.穿透膜用產品。

純銀與本公司研發的銀合金之比較

濺鍍後之反射率

金合金靶材的製作及成膜評價

可透過金合金靶材的製造及成膜實施試製。成膜樣品等可透過定量的比較,評估最適合的材料。

金類靶材成膜樣品
(於本公司內部實施)

濺鍍膜的La*b*座標系