熔融法製造的濺鍍靶材和真空蒸鍍材
能源與氫能社會醫療；
半導體鍵結
與
接合與封裝
車用應用
氣相
沉積與濺鍍；
貴金屬薄膜與沉積技術
電化學用電極
什麼是「熔融法製造的濺鍍靶材和真空蒸鍍材」？
這些高純度貴金屬材料由田中貴金屬提供，並以熔融法製造。它們廣泛用作半導體和光學元件薄膜成型的高品質靶材和蒸鍍材。我們也提供濺鍍薄膜成型測試服務，田中貴金屬脫穎而出。
我們為靶材和蒸鍍材提供高純度產品。
貴金屬薄膜在包括半導體在內的各種工業領域都有應用。
我們提供各種形狀和尺寸的高純度濺鍍靶材和蒸鍍材，以滿足您的應用需求。
在考慮各種材料時，我們也提供濺鍍沉積測試。
熔融法靶材和蒸鍍材
特色
- 靶材應無缺陷，例如針孔、氧化物和氣體
- 以超音波探傷法檢測背板黏合率的品質保證體系
- 用於貴金屬蒸鍍材可以以顆粒、塊狀、棒狀、絲狀等形式供應。
- 也可以用從設備和夾具中回收貴金屬來補充產品。
- 晶體尺寸可根據需要進行調整，從細到粗。
種類
| 材料 | 標準產品 （重量百分比） |
高純度產品 （重量百分比） |
合金 |
|---|---|---|---|
| 金 | 99.99 | 99.999 | AuSi、AuZn、AuSb、AuSn 等。 克拉金（K9 至 K18） |
| 白金 | 99.99 | - | - |
| 銥型*1 | 99.9 | 99.99 | - |
| 銠型*1 | 99.9 | - | 各種各樣的 |
| 鈀 | 99.95 | - | - |
| 銀基*2 | 99.99 | - | 各種各樣的 |
*1. 銥和銠等高熔點材料也是採用熔融法製造的，原料為不含氧化物、氣體和空隙等缺陷的錠塊。
*2 我們生產的銀合金與純銀相比，具有更高的環境耐受性（抗硫化和防潮性）。
金靶材組織
我們根據客戶要求，透過實施穩定的組織控制，提供高品質的靶材。
用於反射膜和電極的銀合金靶材
特色
DVD 和藍光光碟採用層壓結構，包括印刷層、保護層、反射/記錄層和樹脂層。反射/記錄層採用蒸鍍材，而貴金屬（反射膜）則因其固有的耐陽光直射、耐高溫和耐高濕性能而被廣泛應用。產品的壽命取決於氣相沉積反射膜的質量，精度不足會導致印刷/反射層邊緣剝落，或水分滲入反射膜，造成生鏽和反射功能喪失，從而縮短使用壽命。我們提供具有優異耐環境性能的貴金屬（純銀、銀合金等）靶材用於製作反射/透射膜。
純銀與我們的銀合金的比較
![[濺射後的反射率比較圖] 純銀與本公司開發的銀合金的比較](/jp/products/img/img_sputtering_target_production_using_melting_04.jpg)
金合金靶材的製備及成膜性能評價
我們可以製造金合金靶材，並以薄膜沉積法進行試生產。透過對沉積樣品進行定量比較，我們可以確定最佳材料。
（內部實施）
