溶解法的溅射靶材和真空蒸镀材料

能源与氢能社会、电子、医用半导体接合与密封车用应用气相沉积与溅射、贵金属薄膜与沉积技术电化学用电极

什么是“溶解法的溅射靶材和真空蒸镀材料”？
这些高纯度贵金属材料由田中贵金属提供，采用熔解法制造。它们广泛用作半导体和光学器件薄膜成型的高品质靶材和蒸镀材料。我们也提供溅射薄膜成型测试服务，田中贵金属脱颖而出。

我们为靶材和蒸镀材料提供高纯度产品。

贵金属薄膜在包括半导体在内的各种工业领域都有应用。
我们提供各种形状和尺寸的高纯度溅镀靶材和蒸镀材料，以满足您的应用需求。
在考虑各种材料时，我们也提供溅射沉积测试。

熔解法靶材和蒸镀材料

特点

靶材应无缺陷，例如针孔、氧化物和气体
超声波探伤衬板接合率的质量保证体系
用于贵金属蒸镀材料可以以颗粒、块状、棒状、丝状等形式供应。
也可以用从设备和夹具中回收贵金属来补充产品。
结晶尺寸也可根据要求从微细到粗大进行调整

种类

材质	标准品 (wt%)	高纯度品 (wt%)	合金
金系	99.99	99.999	AuSi、AuZn、AuSb、AuSn等克拉Au (K9~K18)
铂系	99.99	-	-
铱系^※1	99.9	99.99	-
铑系列^※1	99.9	-	各种
钯系	99.95	-	-
银色系^※2	99.99	-	各种

*1. 铱和铑等高熔点材料也是采用熔解法制造的，原料为不含氧化物、气体和空隙等缺陷的锭块。
*2 我们生产的银合金与纯银相比，具有更高的环境耐受性（抗硫化和防潮性）。

金靶材组织

我们根据客户要求，通过实施稳定的组织控制，提供高质量的靶材。

用于反射膜和电极的银合金靶材

特点

DVD 和蓝光光盘采用层压结构，包括印刷层、保护层、反射/记录层和树脂层。反射/记录层采用蒸镀材料，而贵金属（反射膜）因其固有的耐阳光直射、耐高温和耐高湿性能而被广泛应用。产品的寿命取决于气相沉积反射膜的质量，精度不足会导致印刷/反射层边缘剥落，或水分渗入反射膜，造成生锈和反射功能丧失，从而缩短使用寿命。我们提供具有优异耐环境性能的贵金属（纯银、银合金等）靶材用于制作反射/透射膜。