半導体の未来を作る貴金属プリカーサ
半導体の技術革新には超微細化を可能にする貴金属を用いたプリカーサ（前駆体）が不可欠です。
130年以上の歴史を持つ田中貴金属は、そのネットワークをより実現した豊富な貴金属資源を加工、供給することが可能です。
研究者・開発者
池田 修二工学博士、IEEEフェロー
ティーイーアイソリューションズ株式会社
代表取締役
原田 了輔理学博士
田中貴金属工業株式会社
化学材料開発部
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- 製品情報 > CVD/ALD プリカーサー
- PRESS2020.09.28
- 液体ルテニウムプリカーサーで世界最高水準の蒸気圧値を実現。CVD・ALD 用プリカーサー「TRuST」を開発
ニュースリリース
様々な分野で活躍する貴金属の可能性をご紹介します。
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田中貴金属グループは、地金の調達から部材の供給、研究開発から製造、販売、そしてリサイクルまで、
貴金属に関するあらゆるサービスを展開しており、最適な組み合わせによって顧客のニーズに合わせたトータルソリューションを提供しています。