SEMICON West 2017 現地レポート "The key of to Miniaturization"

北米最大の半導体およびMEMS、ディスプレイ、その他関連産業の国際総合展示会「SEMICON West」。
今年度、重要なテーマとして取り上げられ、今後の産業界を担う存在として期待される半導体の微細化に対するルテニウムプリカーサーの可能性に迫る。

研究者・開発者

Matt Watson
Director : Business Development
TANAKA America Inc

Peter Beckman
Director : Northwestern-Argonne
Institute of Science and Engineering

Lita Shon-roy
Presidnt & CEO : Techcet

Veronique Pequignat
Director : International Actions & Key
Technologies
Grenoble-Isere Aepi

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