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液体ルテニウムプリカーサーで世界最高水準の蒸気圧値を実現
CVD・ALD 用プリカーサー「TRuST」を開発

2020年9月28日

田中貴金属工業株式会社は、これまでの液体ルテニウム(元素記号 Ru)プリカーサーに比べて蒸気圧を100倍以上に高めた CVD・ALD用プリカーサー「TRuST(トラスト)」を開発したことを発表します。この実験値は、当社内評価において、常温下における世界最高の蒸気圧値となります。
本開発にあたっては、プリカーサーの設計および合成を田中貴金属工業が、その成膜特性の最適化のための研究を韓国の嶺南大学校工科大学新素材工学科のSOO-HYUN,KIM(キム・スヒョン)教授が担当しました。
本プリカーサーにより、スマートフォンおよびPC用や、今後さらなる需要が見込まれるデータセンターで使用される半導体の高性能化・省電力化に貢献します。

20200928_CVD・ALD用プリカーサー「TRuST」を開発.pdf