CVD/ALD用貴金属プリカーサー
CVD = Chemical Vapor Deposition
ALD = Atomic Layer Deposition
次世代半導体に向けた高純度貴金属プリカーサの開発。
プリカーサー開発・提供
当社では様々なCVD／ALDプリカーサーを開発しております。さらに半導体用の薄膜を作製するためのCVD装置、薄膜を評価するための各種分析機器（FE-SEM、AFM、XRF等）を取り揃え、目的に応じたプリカーサーを提供します。
■プリカーサー製品例（ルテニウム）
ルテニウムを中心に、貴金属プリカーサーの開発を行っております。
| Product Name | Structure |
|---|---|
|
Carish Ru liquid precursor |
|
|
TRuST Ru liquid precursor |
|
|
DCR Ru solid precursor |
|
![[Vapor pressure比較グラフ]Carish/TRuST/DCR](https://prod-cms-cache-bucket.s3-ap-northeast-1.amazonaws.com/wp-content/uploads/sites/images/ex/ja/products/images/a06/img_block02_01.png)