めっき装置

めっき技術の先端をいく高性能なめっき装置をお届けします。

量産システムから実験・少量生産までニーズに合わせた各種ウェハーめっき装置をお届けします。ケミカルプロセスとのマッチングを追求したトータルシステムは、大口径・微細化と進む技術にも高パフォーマンスでお応えしています。