2022년6월23일

다나까 귀금속 그룹의 제조 사업을 전개하는 다나까귀금속공업주식회사(본사: 도쿄도 치요다구, 대표이사 사장 집행 임원: 다나카 코이치로)는 액체 루테늄(원소 기호 Ru) 전구체 ‘TRuST’의 2단계 성막 공정을 확립하였음을 발표합니다. ‘TRuST’는 산소와 수소, 쌍방에 양호한 반응성을 가지며, 고품위의 루테늄막을 형성할 수 있는 특징적인 전구체입니다.
액체 루테늄 전구체 ‘TRuST’를 이용한 2단계 ALD 공정으로 기판의 산화 방지와 고품질 및 낮은 저항의 극박막을 구현 데이터 센터나 IoT 등 기술 혁신이 요구되는 선진 기술로 활용 기대

20220623_다나까귀금속공업,반도체의 미세화와 내구성 향상에 기여하는 새로운 루테늄(Ru) 성막 공정을 확립