NEWS/RELEASE
TANAKA stellt neue Methode zur Reinigung von Komponenten in Vakuumbeschichtungsanlagen vor
Aufbau einer Kreislaufwirtschaft zur Rückgewinnung von Edelmetallen
Februar 8, 2024
TANAKA hat eine Methode namens TANAKA Green Shield entwickelt. Sie dient der Reinigung von Vorrichtungen in Vakuumbeschichtungsanlagen etwa in der Halbleiterherstellung und anderen Prozessen. Bei der neuen Reinigungsmethode wird eine adhäsionsverhindernde Platte mit Nickel beschichtet. Löst man später diese Nickelschicht durch chemische Behandlung wieder auf, lassen sich die Metalle leicht zurückgewinnen, die bei der Vakuumbeschichtung oder beim Sputtern darauf haften. Die einzigartige TANAKA-Technologie verhindert, dass das Grundmaterial beschädigt wird, und sie reduziert die Menge an Reinigungsmitteln, was wiederum zu einer geringeren Umweltbelastung beiträgt. Außerdem kann mehr Edelmetall zurückgewonnen werden im Vergleich zu herkömmlichen mechanischen Methoden, das senkt überdies die Kosten.
TANAKA plant den Aufbau eines umfassenden Recyclingkreislaufs: Der Kunde schickt die gebrauchten Komponenten aus seinen Vakuumbeschichtungsanlagen an TANAKA, das die Edelmetalle zurückgewinnt, die präzisionsgereinigten Bauteile gehen wieder zurück an den Kunden. Ziel ist, TANAKA Green Shield so weiterzuentwickeln, dass es eine Vielzahl von Bauteilformen und -größen unterstützt und die Rückgewinnungsraten für Metalle der Platingruppe bis 2025 auf das Sechsfache des derzeitigen Niveaus steigen.