NEWS/RELEASE 世界初、田中貴金属工業がDRAMキャパシタ電極を従来の6倍の深さまで成膜可能なルテニウム材料を開発 世界初、田中貴金属工業がDRAMキャパシタ電極を従来の6倍の深さまで成膜可能なルテニウム材料を開発
