2022年6月23日

田中貴金属グループの製造事業を展開する田中貴金属工業株式会社は、液体ルテニウム（Ru）プリカーサー「TRuST」の2段階成膜プロセスを確立したことを発表します。「TRuST」は酸素と水素の双方に良好な反応性を持ち、高品位なルテニウム膜を形成できる特徴的なプリカーサーです。当プロセスは、薄い酸化防止膜を水素成膜で作り、高品質のルテニウム膜を酸素で成膜する2段階のALD成膜プロセス（ALD＝Atomic Layer Deposition）です。

液体ルテニウムプリカーサー「TRuST」を用いた2段階のALDプロセスにより、 基板の酸化防止と、高品質かつ低抵抗な極薄膜を実現 データセンターやIoTなど技術革新が求められる先進技術への活用に期待

20220623_田中貴金属工業、半導体の微細化と耐久性向上に寄与する新たなルテニウム成膜プロセスを確立.pdf