製品ソリューション
半導体製造と田中貴金属― 継電・電気接続技術 ―
1885年の創業以来、貴金属のプロフェッショナルとして日本の製造業と共に歩んで参りました。
概要
田中貴金属は、半導体で用いられる貴金属材料のほとんどを取り扱っている、世界的にも非常に珍しい貴金属メーカーです。その歴史は1964年に半導体チップの実装に使うAu(金)ワイヤを初めて国産化したころから始まり、その後世界中の半導体技術の発展に貢献してきました。
半導体の製造工程と当社製品
プリカーサー
ルテニウムを中心に貴金属のCVD/ALDプリカーサを開発しており、目的に応じた高純度なプリカーサーをご提供します。また、未反応の使用済みプリカーサーを元の貴金属(メタル)に戻すことなくそのままリサイクルできるため、貴金属地金代やプリカーサー製造などの材料コストを削減することができます(特許プロセス)。
スパッタリングターゲット
当社の持つ溶解技術や焼結技術を用いて、用途に応じて多様な形状・寸法に対応した材料をご提供します。使用済みターゲットのほか、装置や治具などからも貴金属をリサイクルいたします。
めっき
用途に応じためっき特性と、低コストで生産性の高いプロセスをご提供します。また、量産システムから実験・少量生産までニーズに合わせた各種ウェハめっき装置を、ケミカルプロセスとのマッチングを追及したトータルシステムとしてご提供します。
プローブピン
白金系細線の持つ安定した耐環境性や電気的特性を活用し、プローブピンとしてご提供します。
ボンディングワイヤ
ボンディングワイヤ供給量世界一。金ワイヤのほか、銅ワイヤ、銀ワイヤ、アルミワイヤなどを取りそろえ、常に進化する半導体技術の最先端にマッチした確かな製品をご提供します。
ダイボンド用接着剤
各種回路や半導体ダイボンド用に、幅広い用途で活躍する数々の貴金属ペースト・粉末・導電性接着剤。きめ細やかな技術で、精密回路にも最適な品質をお届けします。
封止材
精密部品の接合や気密封止に用いられる多品種の製品をご提供します。
活性金属ろう材
酸化物系、窒化物系を問わず、種々のセラミックスをメタライズなしで、ろう付可能です。
銅材に活性金属ろう材を複合化した材料も提供しており、パワーデバイス用セラミックス回路基板やヒートシンク等の放熱部材への適用が期待されます。
貴金属リサイクル
あらゆる局面において貴金属リサイクルは有効、貴金属を含んだスクラップは貴重な資産となります。貴金属相場の変動や、売値と買値の差(スプレッド)に影響されずに「再生品化」が可能。コスト削減に大きく貢献します。