CVD / ALD 용 귀금속 전구체 (precursor)
CVD = Chemical Vapor Deposition
ALD = Atomic Layer Deposition
차세대 반도체를 향한 고순도 귀금속 전구체의 개발.
프리커서 개발・제공
TANAKA 귀금속공업에서는 다양한 CVD/ALD 프리커서를 개발 하고 있습니다. 또한, 반도체용의 박막을 제작하기 위한 CVD 장 치, 박막을 평가하기 위한 각종 분석기기(FE-SEM, AFM, GD-MS 등)를 갖추어 목적에 맞는 프리커서를 제공합니다.
■프리커서 제품 예(루테늄)
루테늄을 중심으로 귀금속 전구체(precursor) 개발을 하고 있습니다.
| Product Name | Structure |
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Carish Ru liquid precursor |
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TRuST Ru liquid precursor |
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DCR Ru solid precursor |
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