CVD / ALD 용 귀금속 전구체 (precursor)

CVD = Chemical Vapor Deposition
ALD = Atomic Layer Deposition

CVD / ALD 용 귀금속 전구체 (precursor)
CVD : Chemical Vapor Deposition
ALD : Atomic Layer Deposition

반도체용 고순도 프리커서 개발・제조 나아가서 지구 환경에 부담이 없는 리사이클 기술을 제공해드립니다.

프리커서 개발・제공

TANAKA 귀금속공업에서는 다양한 CVD/ALD 프리커서를 개발 하고 있습니다. 또한, 반도체용의 박막을 제작하기 위한 CVD 장 치, 박막을 평가하기 위한 각종 분석기기(FE-SEM, AFM, GD-MS 등)를 갖추어 목적에 맞는 프리커서를 제공합니다.

프리커서 제품 예(루테늄)

루테늄을 중심으로 귀금속 전구체(precursor) 개발을 하고 있습니다.

Product Name Structure
Carish
Ru liquid precursor
Rudic
Ru liquid precursor
DCR
Ru solid precursor