Edelmetallvorläufer für CVD/ALD

CVD = Chemical Vapor Deposition
ALD = Atomic Layer Deposition

Edelmetallvorläufer für CVD/ALD
CVD : Chemische Gasphasenabscheidung
ALD : Atomlagenabscheidung

Entwicklung und Herstellung hochreiner Vorstufen für Halbleiter Wir bieten noch umweltfreundlichere Recyclingtechnologien an.

Entwicklung und Angebot von Vorläufer

Unsere Firma hat verschiede CVD/ALD Vorläufer entwickelt. Weiterhin haben wir CVD-Vorrichtungen für die Anfertigung von Halbleiter Dünnschichten, verschiedene Geräte zur Bewertung dieser Dünnschichten (FE-SEM, AFM, GD-MS etc.) im Angebot und bieten Vorläufer für verschiedene Verwendungszwecke an.

Beispiele für Vorläufer (Ruthenium)

Wir entwickeln Edelmetallvorläufer vorwiegend auf der Basis von Ruthenium

Product Name Structure
Carish
Ru liquid precursor
Rudic
Ru liquid precursor
DCR
Ru solid precursor