CVD/ALD用貴金属プリカーサー

CVD/ALD用貴金属プリカーサー製品イメージ

次世代半導体に向けた高純度貴金属プリカーサの開発。

CVD = Chemical Vapor Deposition
ALD = Atomic Layer Deposition

プリカーサー開発・提供

当社では様々なCVD／ALDプリカーサーを開発しております。さらに半導体用の薄膜を作製するためのCVD装置、薄膜を評価するための各種分析機器（FE-SEM、AFM、XRF等）を取り揃え、目的に応じたプリカーサーを提供します。

ルテニウムを中心に、貴金属プリカーサーの開発を行っております。