Sputtertargets und Vakuumaufdampfwerkstoffe Durch Schmelzverfahren
Wir bieten hochreine Produkte mit Targets und Aufdampfwerkstoffen an.
Dünnschichten aus Edelmetall werden für die Halbleiterproduktion und in vielen verschiedenen anderen Industriezweigen verwendet.
Wir bieten hochreine Sputtertargets und Aufdampfwerkstoffe in verschiedenen Formen und Größen für verschiedenste Anwendungsgebiete an.
Bei der Untersuchung unserer Materialien können auch Schichtbildungstests durch Sputtern durchgeführt werden.
Durch Schmelzverfahren produzierte Targets & Gasabscheidungsmaterialien
■Eigenschaften
- Targetmaterialien sind pinhole-, oxid- und gasfrei.
- Die Qualität der Verbindung mit der Montageplatte wird durch Ultraschallprüfung überprüft.
- Hochreine Edelmetall-Aufdampfwerkstoffe können als Granulat, Block, Stäbchen, Draht usw. bereitgestellt werden.
- Aus Geräten und Werkzeugen recycelte Edelmetalle können ebenfalls zu Targets verarbeitet werden.
- Partikelgrößen können auf Wunsch von fein bis grob angepasst werden.
■Arten
| Material | Standardprodukte (wt%) | Hochreine Produkte (wt%) | Legierungen |
|---|---|---|---|
| Gold | 99.99 | 99.999 | AuSi, AuZn, AuSb, AuSn usw. Au (9 bis 18 Karat) |
| Platin | 99.99 | – | – |
| Iridium※1 | 99.9 | 99.99 | – |
| Rhodium※1 | 99.9 | – | Verschiedene |
| Palladium | 99.95 | – | – |
| Silber※2 | 99.99 | – | Verschiedene |
※1. Materialien mit hohem Schmelzpunkt, wie Iridium und Rhodium, werden so geschmolzen, dass Oxide, Gase und Pinholes eliminiert werden, bevor sie in verschiedene Targetformen gegossen werden.
※2. Silberlegierungen mit dem höheren umweltbedingten Widerstand (Widerstand gegen Schwefel und Feuchtigkeit) als reines Silbermetall werden auch produziert.
Planare Targets, Gasabscheidungsmaterialien
Targets aus Silberlegierungen für Reflexionsschichten & Elektroden
■Eigenschaften
Für reflektive/beschreibbare Schichten von DVDs, u. Ä., die aus mehreren laminierten Schichten (Druckschicht, Schutzschicht, Reflektive/Beschreibbare Schicht und Plastikschicht) bestehen, werden Gasabscheidungsmaterialien verwendet. DVDs und BDs reagieren empfindlich auf direkte Sonneneinstrahlung, hohe Temperatur und Feuchtigkeit, weshalb für reflektive Schichten Edelmetalle genutzt werden. Die Lebensdauer eines Produktes entscheidet sich durch die aufgedampften reflektiven Schicht, weshalb niedrige Präzision dazu führen kann, dass sich die bedruckte oder reflektive Schicht an den Rändern ablöst bzw. die reflektive Schicht durch Wassereinfluss rostet, was zusätzlich eine Reflexionsdämpfung oder eine kürzere Produktlebensdauer als Folge haben kann. Wir bieten Targets aus Edelmetall (Silber, Silberlegierungen usw.) für reflektive und durchlässige Schichten an, die einen exzellenten Widerstand gegen umweltbedingte Einflüsse haben.
■Vergleich von reinem Silber mit von uns entwickelten Silberlegierungen
Reflexion direkt nach dem Sputtern
![[Vergleichsdiagramm von Reflexion direkt nach dem Sputtern] Vergleich von reinem Silber mit von uns entwickelten Silberlegierungen](https://prod-cms-cache-bucket.s3-ap-northeast-1.amazonaws.com/wp-content/uploads/sites/images/ex/de/products/images/a01/img_block02_01.jpg)
Herstellung von Au-Legierungstargets und Bewertung der Schichtbildung
Wir können Au-Legierungstargets sowohl produzieren, als auch versuchsweise Beschichtungen herstellen. Durch den quantitativen Vergleich von unterschiedlich beschichteten Proben, etc., kann geprüft werden, welcher Werkstoff am geeignetsten ist
Au-Target beschichtete Proben
（werden firmenintern geprüft）
La*b*Koordinatensystem der Sputtermembran
