CVD/ALD用貴金屬前驅物

CVD/ALD用貴金屬前驅物產品圖片

CVD = Chemical Vapor Deposition
ALD = Atomic Layer Deposition

開發針對次世代半導體的高純度貴金屬前驅物。

開發、提供前驅物

本公司開發各種CVD／ALD前驅物。而且，製作半導體用薄膜的CVD設備、評估薄膜用的各種分析儀器（FE-SEM、AFM、XRF等）產品俱全，依目的提供所需前驅物。

開發以釕為主的貴金屬前驅物。