CVD/ALD前驅物

CVD/ALD前驅物

CVD = Chemical Vapor Deposition
ALD = Atomic Layer Deposition

開發針對次世代半導體的高純度貴金屬前驅物。

開發、提供前驅物

在田中貴金屬工業中,正開發各種CVD/ALD前驅物。甚至製作半導體用薄膜的CVD裝置、評估薄膜用的各種分析儀器(FE-SEM、AFM、GD-MS等)產品俱全,依目的提供所需前驅物。

前驅物產品範例(釕)

以釕為主,正在進行貴金屬前驅物的開發。

Product Name Structure
Carish
Ru liquid precursor
Rudic
Ru liquid precursor
DCR
Ru solid precursor