CVD/ALD前驅物
CVD = Chemical Vapor Deposition
ALD = Atomic Layer Deposition
開發針對次世代半導體的高純度貴金屬前驅物。
開發、提供前驅物
在田中貴金屬工業中，正開發各種CVD／ALD前驅物。甚至製作半導體用薄膜的CVD裝置、評估薄膜用的各種分析儀器（FE-SEM、AFM、GD-MS等）產品俱全，依目的提供所需前驅物。
■前驅物產品範例（釕）
以釕為主，正在進行貴金屬前驅物的開發。
| Product Name | Structure |
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Carish Ru liquid precursor |
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Rudic Ru liquid precursor |
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DCR Ru solid precursor |
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